氣相沉積爐設(shè)備室是立式結(jié)構(gòu)，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。主要電器元件采用知名品牌，性能穩(wěn)定、可靠。配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。

氣相沉積爐反應(yīng)室的壓力、氣體的流動速率、晶片的溫度等反應(yīng)中間起的作用都是沉積參數(shù)的變化范圍，所以考慮到沉積薄膜中的變數(shù)、以及沉積速率決定著反應(yīng)室的產(chǎn)出量，反應(yīng)生成的膜不僅會沉積在晶片上，也會沉積在反應(yīng)室的其他部件上，所以對反應(yīng)室進行徹底清洗的程度也是重要。